排気／排水設備がいらないダイシングソー：ディスコが開発

[竹本達哉，EE Times Japan]

　ディスコは2018年12月7日、排気、排水設備がない施設でも導入できるダイシングソーを開発したと発表した。ダイシングソーに純水製造／リサイクル機能を搭載した。2018年12月12〜14日に東京ビッグサイトで開催される展示会「SEMICON JAPAN 2018」のディスコブースで同ダイシングソーのコンセプトモデルを参考出展する。

　開発したダイシングソーは内部に「ろ過」「純水製造（イオン交換）」「水温調節」の各機能を搭載。これにより、純水製造設備がない施設でもダイシングソーの導入が可能になる。また、加工排水をダイシングソー内部で純水にリサイクルできるため、排水設備も不要だ。

開発したダイシングソーのイメージ（右）。従来のダイシングソー（左）で必要だった排気ダクトや排水配管の接続が不要になり、純水供給の必要もない 出典：ディスコ

　また切削くず除去や加工点冷却のために用いる切削水のしぶきを装置内部のダクトファンでタンクに取り込み、純水にリサイクルする機能も備える。従来、切削水のしぶきを排出するために必要だった排気設備も不要になる。

　ディスコでは、「排気、排水設備が不要であるため、各装置の配管長さやその取り回しへの制約が少なくなる。これにより、従来のダイシングソーに比べ、柔軟な装置レイアウトが可能。またダイシングソー増設時にも、排気、排水設備の追加工事をする必要がない」としている。

開発したダイシングソーの導入イメージ（下）。上は、従来のダイシングソーの設置イメージ 出典：ディスコ

　なお、開発したダイシングソーの販売開始時期は、2020年夏ごろを予定している。