設置面積が小さくスループットも改善、ディスコの半自動ダイシングソー：SEMICON Japan 2014

ディスコは、「SEMICON Japan 2014」（2014年12月3〜5日）で、「世界最小のフットプリント」と同社が主張する6インチウエハー対応のセミオートマチックダイシングソー「DAD323」などのデモ展示を行った。

[馬本隆綱，EE Times Japan]

　ディスコは、「SEMICON Japan 2014」（2014年12月3〜5日、東京ビッグサイト）で、設置面積が小さい6インチウエハー対応のセミオートマチックダイシングソー「DAD323」や純水リサイクルユニット「DWR1722」などのデモ展示を行った。

　DAD323は、外形寸法が横幅490mm、奥行き870mm、高さ1600mmを実現するなど、同社が「世界最小の設置面積」と主張する装置である。多数の装置を並べて稼働する場合に、面積当たりの生産性向上が期待できる。「中国では工場スペースの有効活用が強く求められており、製造装置においても小さなフットプリントに対するニーズは高い」（説明員）と話す。新製品はこうした中国をはじめとするLEDや電子部品の切断用途に対応して開発した。

「世界最小の設置面積」と主張するDAD323の外観

　従来機種に比べて、スループットも向上している。軸速度をX軸は700mm/s（従来機種は500mm/s）に、Y軸は170mm/s（同150mm/s）、Z軸は80mm/s（同30mm/s）と、全て高速化した。また、高性能プロセッサを搭載することでソフトウェア処理の性能も高めている。操作モニターの画面サイズは、従来機種の10.4型から、DAD323では15型とし、視認性の向上を図った。販売開始は2015年6月を予定している。

　DWR1722は、ダイシングソーで用いる純水を100％リサイクルするための装置である。従来機種の「DWR1721」で標準搭載されていたRO膜ユニットやTOC計、排水圧送ポンプの機能をオプションとした。これによって、顧客は必要な機能のみを選択して搭載できるようになったという。DWR1722は、毎分25リットルの処理能力を持ち、全自動ダイシングソー2台まで対応することが可能である。販売開始は2015年4月を予定している。