KLA、自動車用ICの製造に特化した検査装置を発表：製造工程での歩留まりと信頼性向上

KLAは、自動車向けICの製造工程における歩留まりと信頼性向上を支援する欠陥検査システム3種類とインラインスクリーニングソリューションを発表した。

[馬本隆綱，EE Times Japan]

収集した検査データから欠陥の特徴を抽出、低品質品は事前に排除

　KLAは2021年6月、自動車向けICの製造工程における歩留まりと信頼性向上を支援する欠陥検査システム3種類とインラインスクリーニングソリューションを発表した。

　新製品は、生産性を高めたパターンウエハー検査装置「8935」、ブロードバンドプラズマパターンウエハー検査装置「C205」、パターン無しウエハー検査装置「Surfscan SP A2／A3」および、インラインPATスクリーニングソリューション「I-PAT」である。

KLAの新製品群

　Surfscan SP A2／A3は、DUV光学系と高度アルゴリズムを組み込んだ装置で、製造プロセスでの欠陥を発見し除去することができる。C205は、研究開発と生産ラインの立ち上げなどに向けた検査装置で、ブロードバンド照明とNanoPoint技術を採用したことで、重要な欠陥を高い感度で検出できる。8935は光学技術とDefectWise AIソリューションを採用した検査装置。量産時にさまざまな重要欠陥を捕捉できるという。

　一方、I-PATはKLA製の検査装置やデータ解析装置上で動作するツール。8935を含む8シリーズやPumaレーザースキャニング検査機で収集したデータを基に、欠陥の特徴を抽出。その上で、SPOT生産プラットフォームのカスタマイズされた機械学習アルゴリズムとKlarity欠陥管理システムの統計分析機能を活用して、母集団から外れている欠陥を識別。欠陥の可能性があるICチップを、サプライチェーンから排除することができるという。