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» 2022年05月16日 14時30分 公開

東京エレクトロン、宮城の製造子会社で開発棟建設2025年春の完成を予定

東京エレクトロン(TEL)は、製造子会社の東京エレクトロン宮城 本社工場(宮城県黒川郡)敷地内に開発棟を建設する。新開発棟は2023年春に着工、2025年春に竣工の予定。

[馬本隆綱,EE Times Japan]

技術開発力のさらなる強化と、最新装置の適時供給を見据えて

 東京エレクトロン(TEL)は2022年5月12日、製造子会社の東京エレクトロン宮城 本社工場(宮城県黒川郡)敷地内に開発棟を建設すると発表した。新開発棟は2023年春に着工、2025年春に完成の予定。

 東京エレクトロン宮城は、プラズマエッチング装置などを開発、製造する拠点である。半導体デバイスは、微細化などパターニング技術が進化し、高集積化や高性能化が進む。エッチング製造装置にも、これらの動きに対応するための技術開発が求められている。

 そこで東京エレクトロンは、新たに開発棟を建設することにした。技術開発力をさらに強化し、市場や顧客の要求に対応できる半導体製造装置を、タイムリーに供給するための体制を整えていく。

 新たに建設する開発棟は、鉄骨造/全免震構造の地上3階建て、延べ床面積(付帯設備エリア除く)は、約4万6000m2。建設費用は約470億円を予定している。

新たに建設する開発棟の完成予想図 出所:TEL

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