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ASML、EUVシステムを2019年に30台出荷する見通し：2018年には20台

ASMLが2018年7月18日（オランダ時間）に発表したところによると、同社は2018年に20台のEUV（極端紫外線）露光システムを、2019年には少なくとも30台を出荷する予定だという。

» 2018年07月24日 09時30分公開

ASML CEOのPeter Wennink氏

　ASMLによれば、同社の2018年第2四半期の売上高は32億米ドルになると見込んでいる。特にEUV露光システムの売り上げは予想以上に好調だとする。同社のCEO（最高経営責任者）であるPeter Wennink氏は、「DUV（深紫外線）システムおよびアプリケーション事業の強みと、EUVシステムの収益性の伸びが反映されて、粗利は当社の予想を若干上回っていた」と説明した。

　ASMLは、ロジック関連の顧客が2018年後半から次世代デバイスの立ち上げを準備していることから、2018年第2四半期に4台のEUVシステムを出荷したという。

　半導体製造技術においてDUV技術の後継となるEUVシステムは、長年の遅れをへて、ようやく生産開始にたどり着いた。Samsung Electronics、Intel、TSMCが2019年初めに、チップの量産にEUVシステムを使用する予定だが、光源や、ペリクル（保護膜）を含むEUV関連のサプライチェーンにおいて懸念はまだ残っている。

EUVリソグラフィに対応する「NXE:3400」システム出展：ASML（クリックで拡大）

　Wennink氏は、メモリ市場がDUVリソグラフィ事業の成長を後押ししていると語る。メモリ市場では、少なくとも2018年と2019年に、相当数のリソグラフィシステムが必要とされているからだ。同氏は、「2018年前半は好調だった。後半も同等レベル、または前半以上の成長が期待できるとみている」と述べた。

　ASMLは2018年第3四半期の業績について、売上高が27億～28億ユーロ（約3529億～3660億円）になると予測している。

【翻訳、編集：EE Times Japan】

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