SCREEN、洗浄装置や膜厚測定装置で処理能力向上：SEMICON Japan 2019

SCREENセミコンダクターソリューションズは、「SEMICON Japan 2019」で、スループットを向上させた枚葉式洗浄装置「SU-3300」や光干渉式膜厚測定装置「VM-2500」などのパネル展示を行った。

[馬本隆綱，EE Times Japan]

滋賀大学とデータサイエンス分野でコラボ

　SCREENセミコンダクターソリューションズは、「SEMICON Japan 2019」（2019年12月11〜13日、東京ビッグサイト）で、スループットを向上させた枚葉式洗浄装置「SU-3300」や光干渉式膜厚測定装置「VM-2500」などのパネル展示を行った。

　SU-3300は、チャンバーサイズを最小化した4段積みタワー構造を採用することで、業界最大となる24チャンバーの搭載を可能にした。高い洗浄能力を持つ枚葉式洗浄装置で、高いスループットも実現した。また、チャンバー内の清浄度を高めるクリーン化技術、エッチングの均一性と液薬の消費量削減を可能にする制御技術など、最新の技術を搭載している。

　VM-2500は、SAWデバイスやパワーデバイス、MEMSなどの膜厚測定に用いられる。製造工程では膜厚が均一かどうかを確認するため、直径200mmウエハーでは約500点のポイントで厚みを計測するという。VM-2500は全面吸着ステージを採用することで、従来製品に比べて多点測定時のスループットを向上させた。

パネル展示した枚葉式洗浄装置「SU-3300」と光干渉式膜厚測定装置「VM-2500」 （クリックで拡大）

　また、新技術の創出に向け、滋賀大学とデータサイエンス分野で共同研究も行っている。半導体製造装置の製造過程で得られる膨大なデータを分析することで、革新的な洗浄技術の開発に結び付けていく方針である。

　さらに、同社彦根事業所（滋賀県彦根市）の敷地内に建設した新工場「S³（エスキューブ）」が2019年春に稼働した。新工場の生産能力は従来比1.5倍となり、主力製品である枚葉式洗浄装置などを増産する。また、免震構造の採用により、BCP（事業継続計画）／BCM（事業継続管理）の体制も強化した。

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