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三菱ケミカル、ドイツでクリーンルーム棟を新設：半導体精密洗浄事業の拡大に向け

三菱ケミカルは、ドイツにあるグループ会社「Cleanpart ドレスデン」の敷地内にクリーンルーム棟を新設し、半導体の洗浄能力を増強する。投資額は約1000万ユーロで、2022年末に稼働予定。

» 2021年11月04日 09時30分公開

[馬本隆綱，EE Times Japan]

洗浄能力を増強、2022年末稼働予定で投資額は約1000万ユーロ

　三菱ケミカルは2021年11月、ドイツにあるグループ会社「Cleanpart ドレスデン」の敷地内にクリーンルーム棟を新設し、半導体の洗浄能力を増強すると発表した。投資額は約1000万ユーロで、2022年末の稼働を予定している。

　Cleanpart ドレスデンは、主にドイツ東部の顧客を中心に、半導体の精密洗浄サービスを提供している。半導体需要は世界的に高水準で推移しており、顧客が半導体を効率よく生産できるよう、サポート体制を強化するのが狙い。

　新設するクリーンルーム棟には、最新の洗浄設備や、洗浄工程における廃棄物削減に向けた環境配慮型の設備を導入する予定である。

Cleanpartドレスデンの外観出所：三菱ケミカル

AI技術を活用、材料開発を少ない実験回数で実現
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量子技術の産業化を加速、日本企業11社が協議会設立
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量子コンピュータ実機で有機EL発光材料の性能予測
三菱ケミカルと日本IBM、JSRおよび、慶應義塾大学の研究プロジェクトチームは、量子コンピュータ実機を用いて有機EL発光材料の励起状態を高い精度で計算することに成功した。
GaN単結晶基板量産に向け、室蘭で実証実験を開始
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ウエハー出荷面積、2024年まで旺盛な成長続く
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欧州が欧州半導体法「European Chips Act」の策定へ
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