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三菱ケミカル、ドイツでクリーンルーム棟を新設半導体精密洗浄事業の拡大に向け

三菱ケミカルは、ドイツにあるグループ会社「Cleanpart ドレスデン」の敷地内にクリーンルーム棟を新設し、半導体の洗浄能力を増強する。投資額は約1000万ユーロで、2022年末に稼働予定。

» 2021年11月04日 09時30分 公開
[馬本隆綱EE Times Japan]

洗浄能力を増強、2022年末稼働予定で投資額は約1000万ユーロ

 三菱ケミカルは2021年11月、ドイツにあるグループ会社「Cleanpart ドレスデン」の敷地内にクリーンルーム棟を新設し、半導体の洗浄能力を増強すると発表した。投資額は約1000万ユーロで、2022年末の稼働を予定している。

 Cleanpart ドレスデンは、主にドイツ東部の顧客を中心に、半導体の精密洗浄サービスを提供している。半導体需要は世界的に高水準で推移しており、顧客が半導体を効率よく生産できるよう、サポート体制を強化するのが狙い。

 新設するクリーンルーム棟には、最新の洗浄設備や、洗浄工程における廃棄物削減に向けた環境配慮型の設備を導入する予定である。

Cleanpartドレスデンの外観 出所:三菱ケミカル

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