テレダイン・レクロイ、1GHzプローブなどを発売：GaN／SiC半導体を高精度で評価

テレダイン・レクロイは、帯域幅が1GHzの高電圧光アイソレーションプローブ「DL-ISO」と「パワーデバイステスト用ソフトウェア」を発売する。これらを12ビット分解能オシロスコープと組み合わせることで、GaN（窒化ガリウム）／SiC（炭化ケイ素）半導体の特性を、高い精度で評価することが可能となる。

[馬本隆綱，EE Times Japan]

12ビット分解能オシロと組み合わせ1.5％の精度を達成

　テレダイン・レクロイは2022年4月、帯域幅が1GHzの高電圧光アイソレーションプローブ「DL-ISO」と「パワーデバイステスト用ソフトウェア」を発売すると発表した。これらを12ビット分解能オシロスコープと組み合わせることで、GaN（窒化ガリウム）やSiC（炭化ケイ素）といったワイドバンドギャップ半導体の特性を、高い精度で評価することが可能となる。

　DL-ISOは1GHzの帯域幅により、立ち上がり時間1ナノ秒の測定が可能となる。サンプリング速度が最大20Gサンプル/秒の12ビット分解能オシロスコープと組み合わせて用いることにより、GaN／SiC半導体の電気特性を、1.5％という極めて高い精度で評価することができるという。

　対応するオシロスコープは、「HDO4000シリーズ」「HDO 6000Bシリーズ」「WaveRunner 8000HDシリーズ」「MDA 8000HDシリーズ」「WavePro HDシリーズ」などである。

12ビット分解能オシロスコープと高電圧光アイソレーションプローブ「DL-ISO」の外観 出所：テレダイン・レクロイ

　パワーデバイステスト用ソフトウェアは、より自動化されたJEDECスイッチング損失およびその他の測定と、関連する測定領域の色分けされたオーバーレイ表示によって、GaNやSiCデバイスの解析が容易になるという。