AGC、EUVマスクブランクスの生産能力を増強：2025年には現在の約30％増へ

AGCは、EUV露光用フォトマスクブランクス（以下、EUVマスクブランクス）の生産能力を増強する。AGCグループにおけるEUVマスクブランクスの生産能力は、2025年に現在より約30％増えるという。

[馬本隆綱，EE Times Japan]

EUVマスクブランクス事業、2025年に400億円以上を目指す

　AGCは2023年5月、EUV露光用フォトマスクブランクス（以下、EUVマスクブランクス）の生産能力を増強すると発表した。AGCグループにおけるEUVマスクブランクスの生産能力は、2025年に現在より約30％増える。微細化が進む先端半導体の生産拡大に対応するのが狙い。

　生産能力を増強するのは、100％子会社のAGCエレクトロニクス（福島県郡山市）。2024年1月より稼働し、段階的に製造ラインを増強する。AGCは、EUVマスクブランクス事業に対し、積極的な設備投資を行う計画。これにより、2025年には同事業で売上高400億円以上を目指す。なお、今回の生産能力増強は、経済産業省による「サプライチェーン対策のための国内投資促進事業費補助金」の採択事業となっている。

EUVマスクブランクスと生産能力を増強する本宮工場の外観 出所：AGC

　AGCが増産投資を行うEUVマスクブランクスは、低膨張ガラス基板の表面に複数の組成から成る膜を積層したもの。欠陥がほぼゼロで、極めて高い平坦度が求められている。EUVフォトマスクは、この表面に半導体チップの回路原版を形成した部材である。