メディア

手のひら大の「クリーンルーム」 ミニマルファブのリソグラフィ実演多品種少量生産を支援(2/2 ページ)

» 2024年10月16日 14時30分 公開
[浅井涼EE Times Japan]
前のページへ 1|2       

リソグラフィ工程を実演 家庭用電源で

 ブースでは、レジスト塗布/露光/現像の各プロセスの装置を3台並べてリソグラフィ工程の実演デモを行った。

 シャトルを手で持って装置にセットし、スイッチを押すと装置が起動する。終了後はシャトルを取り上げて次の装置にセットする。装置内部の様子や進捗状況はそれぞれの装置のモニターに表示される。

装置にセットされたシャトル。右側の緑色のスイッチを押すと装置が起動する 装置にセットされたシャトル。右側の緑色のスイッチを押すと装置が起動する[クリックで拡大]
レジスト塗布の様子露光の様子 左=レジスト塗布の様子、右=露光の様子[クリックで拡大]

 3つのプロセスが終了した後、顕微鏡でウエハーを確認すると、「Happy Halloween」という文字やかぼちゃのイラストのパターンが形成されていた。

現像の様子完成したパターン 左=現像の様子、右=完成したパターン[クリックで拡大]

 ミニマルファブ向けの製造装置は低消費電力であることも特徴で、家庭用のAC100V電源が利用できる。今回のデモで使用した装置の消費電力は、レジスト塗布/現像プロセスが150W、露光プロセスが300Wだ。使い終わった後はその都度電源をオフにできるという。

 今回、各プロセス間のウエハー搬送はシャトルを手で持って移動させていたが、装置数が多い場合は装置間の自動搬送システムも利用可能だ。

 ミニマルファブ推進機構は「ミニマルファブでは、アイデア勝負で誰でも半導体製造に参入できる」とアピールした。

前のページへ 1|2       

Copyright © ITmedia, Inc. All Rights Reserved.

RSSフィード

公式SNS

All material on this site Copyright © ITmedia, Inc. All Rights Reserved.
This site contains articles under license from AspenCore LLC.