手のひら大の「クリーンルーム」 ミニマルファブのリソグラフィ実演：多品種少量生産を支援（2/2 ページ）

[浅井涼，EE Times Japan]

リソグラフィ工程を実演　家庭用電源で

　ブースでは、レジスト塗布／露光／現像の各プロセスの装置を3台並べてリソグラフィ工程の実演デモを行った。

　シャトルを手で持って装置にセットし、スイッチを押すと装置が起動する。終了後はシャトルを取り上げて次の装置にセットする。装置内部の様子や進捗状況はそれぞれの装置のモニターに表示される。

装置にセットされたシャトル。右側の緑色のスイッチを押すと装置が起動する［クリックで拡大］

左＝レジスト塗布の様子、右＝露光の様子［クリックで拡大］

　3つのプロセスが終了した後、顕微鏡でウエハーを確認すると、「Happy Halloween」という文字やかぼちゃのイラストのパターンが形成されていた。

左＝現像の様子、右＝完成したパターン［クリックで拡大］

　ミニマルファブ向けの製造装置は低消費電力であることも特徴で、家庭用のAC100V電源が利用できる。今回のデモで使用した装置の消費電力は、レジスト塗布／現像プロセスが150W、露光プロセスが300Wだ。使い終わった後はその都度電源をオフにできるという。

　今回、各プロセス間のウエハー搬送はシャトルを手で持って移動させていたが、装置数が多い場合は装置間の自動搬送システムも利用可能だ。

　ミニマルファブ推進機構は「ミニマルファブでは、アイデア勝負で誰でも半導体製造に参入できる」とアピールした。