0.6×0.3mmのSWIR域超小型LEDパッケージを開発:バイオセンシング用途にも適用
ウシオ電機は、フットプリントが0.6×0.3mmと極めて小さいSWIR(短波赤外)域超小型LEDパッケージを開発、2024年11月からテストサンプル品の供給を始める。
ウシオ電機は、フットプリントが0.6×0.3mmと極めて小さいSWIR(短波赤外)域超小型LEDパッケージを開発、2024年11月からテストサンプル品の供給を始めると発表した。
開発品(左)と従来品(右)のパッケージ比較[クリックで拡大] 出所:ウシオ電機
SWIR域である1050〜1650nmの波長帯は、スマートフォンやバイタルセンシング、近接センサーなどの他、非侵襲での深部計測やイメージングといった生体分子を検出するバイオセンシングの用途に適している。これらの用途では、LEDパッケージのさらなる小型化が求められているという。
そこで今回、InP(インジウムリン)系材料では初めてとなるフリップチップ構造のLEDチップを採用した。これにより、ワイヤーボンディングを行うためのスペースが不要となり、パッケージの小型化が可能となった。ワイヤーによる影の影響もなく、出力や照度分布の均一性も向上させた。
透明樹脂でチップが保護されており、はんだ実装にも対応できるなど、0603サイズの電子部品と同じように基板実装が可能である。
- 線幅サブミクロンも視野に パッケージ向け露光装置でウシオとAppliedが協業
ウシオ電機とApplied Materialsは2023年12月、戦略的パートナーシップの締結を発表した。両社が「DLT(Digital Lithography Technology)」と呼ぶ、半導体パッケージ基板向けの新しいダイレクト露光装置を早期に市場に投入し、大型化や配線の微細化など半導体パッケージ基板への要求に応えることを目指す。
- 高出力の縦型AlGaN系深紫外半導体レーザーを開発
名城大学と三重大学、ウシオ電機および、西進商事の研究グループは、高い光出力が得られる「縦型AlGaN系深紫外(UV-B)半導体レーザー」を開発した。光出力は1素子で1Wを超える見通し。素子を集積化すれば光出力が数十〜数百Wのレーザー光源を実現できるとみている。
- ウシオ電機、15億円投資で投影露光装置の生産強化へ
ウシオ電機は2021年5月11日、分割投影露光装置(「UX-5シリーズ」)の生産能力増強に向け、設備投資を行うことを発表した。最先端ICパッケージ基板の高まる需要に対応するため、15億円を投資する予定だ。
- ウシオ電機、小型のエキシマ照射装置を発売
ウシオ電機は、小型のエキシマ照射装置「HPV-ST」シリーズを開発した。2020年8月より販売を始める。
- 光半導体をシリコン基板上に高速実装、東レが開発
東レは、InP(インジウムリン)などをベースとした光半導体をシリコン基板上に実装するための材料とプロセス技術を、東レエンジニアリング(TRENG)と連携して開発した。2025年までに量産技術を確立し、早期実用化を目指す。
Copyright © ITmedia, Inc. All Rights Reserved.