東京エレクトロン デバイス(TED)は、深紫外線LEDによる殺菌や不活化効果の検証を行うことができる「評価用深紫外線LEDモジュールキット」の販売を始めた。
東京エレクトロン デバイス(TED)は2020年10月、深紫外線LEDによる殺菌や不活化効果の検証を行うことができる「評価用深紫外線LEDモジュールキット」を開発し、発売すると発表した。
新製品は、36個の深紫外線LEDを搭載した照射モジュール「TEVM0606-164-1-03」と、電源や照射制御の機能を備えた駆動コントローラ「TE5DRV1-VM0606-164-1」で構成される。価格(税別)は79万円。
TEVM0606-164-1-03は発光面サイズが40×40mmで、波長は265nm、280nm、310nmより選択できる。外形寸法は67×67×110mmである。TE5DRV1-VM0606-164-1は基板サイズが200×200mmで、負荷電流は100〜350mA(100階調)の設定が可能。負荷電圧は最大80V。LEDオープンやショート、温度などの異常を検知する機能を備えている。深紫外線LEDの点灯制御はPCで行うことができる。
新製品を用いると、深紫外線LEDによる殺菌や不活化効果の検証を、速やかに行うことが可能である。産業や医療、医薬、食品などの分野に導入を提案していく。また、照射量や照射エリアなど、用途に応じたカスタマイズにも別途対応することが可能だという。
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