ムーアの法則 次なるけん引役は「チップレット」 〜IEDM2020に見る先端パッケージ技術：湯之上隆のナノフォーカス（35）（6/6 ページ）

[湯之上隆（微細加工研究所），EE Times Japan]

IEDMでのTSMCの発表

　そして、IntelやSamsungよりも早く、チップレットの手法を取り入れた先端パッケージ技術の実用化を行ってきたのがTSMCである。TSMCのKC Yee氏はショートコースの“Advanced 3D System Integration Technologies”で、過去10年間のチップレットの歴史を振り返った（図18）。

図18：TSMCにおけるチップレットの発表 出典：KC Yee (TSMC), “Advanced 3D System Integration Technologies”, IEDM2020, SC1（クリックで拡大）

　図18の上段はTSVを用いたCoWoS（Chip-on-Wafer-on-Substrate）と呼ぶチップレットの技術であり、2011年にXilinxのFPGAに適用された。その後、NVIDIAのGPUやAMDのCPUにもCoWoSが使われてきた。

　また、図18の下段はTSVを用いず、インターポーザを介してチップをつなぐInFO（Integrated Fan-Out）と呼ぶチップレットの技術である。この図18には書かれていないが、Appleの「iPhone」には、InFOの技術を使ったアプリケーションプロセッサが搭載されている（図19）。

図19：TSMCのモバイル用3DSI（3D System Integration） 出典：KC Yee (TSMC), “Advanced 3D System Integration Technologies”, IEDM2020, SC1（クリックで拡大）

　TSMCはこの技術を“3DSI（3D System Integration”と名付けており、High Performance Computing用のCoWoSにも適用している（図20）。なお、図19と図20に出てくるSoICとは、「System on Integrated Chips using frontend 3D stacking process」の略称で、3次元方向にチップを積層する技術を意味する。

図20：TSMCのHPC用3DSI （3D System Integration） 出典：KC Yee (TSMC), “Advanced 3D System Integration Technologies”, IEDM2020, SC1（クリックで拡大）

　こうして見ると、チップレットの手法を取り入れた先端パッケージ技術の10年間の実績があるTSMCが、IntelやSamsungを一歩も二歩もリードしているように感じられる。

チップレットを使った先端パッケージ技術の将来展望

　ASMLが製造する最先端のEUV露光装置を使って、TSMCやSamsungが5nm、4nm、3nmと1nm刻みに微細化を進めている。しかし、指数関数的に増大するビッグデータを解析するためのAI半導体の処理能力の向上は、コア数の増大とスケーリングによるコアのスループット上昇だけでは全く足りない。その上、微細化もコア数の増大も、チップコストを高騰させてしまう。

　これらを解決するためにチップレットを使った先端パッケージ技術の開発が必要不可欠になってきている。そのために、TSMCを筆頭として、IntelやSamsungも、先端パッケージ技術の開発に参入してきたわけだ。今のところ、先端パッケージの技術では、TSMCが他社をリードしていると思われるが、半導体業界全体では標準化されておらず、百花繚乱と感じられる。

　このような状況であるから、チップレットを使った先端パッケージの技術にはIRDSのようなロードマップはないかもしれない。従って、この先、どんな技術が飛び出してくるか分からない。

　例えば、今回のIEDMのショートコースで、TSMCの次に発表したCEA LetiのC.Fenouillet-Beranger氏が“3D sequential integration: Opportunities, Breakthrough and Challenge”にて、非常に面白い先端パッケージ技術の概念を示した（図21）。

図21：3D System Integrationの未来展望 出典：C.Fenouillet-Beranger (CEA Leti), “3D sequential integration: Opportunities, Breakthrough and Challenges”, IEDM2020, SC1（クリックで拡大）

　現在は、図21の左のように、メモリ（HBM）や各種ロジック半導体をチップレットとして製造し、1枚のインターポーザ上に配置してSoCを構築している。次の段階は、メモリと複数の異種ロジック半導体を全てTSVで縦に積層して1チップ化する。そして最終段階では、ロジック半導体がメモリの中に（まるで溶け込むように）連続的に作り込まれ、それが積層化される“3D sequential”というものになるという。

　このように考えていくと、今後、ムーアの法則をけん引するのは、微細化ではなく（それもかなりしぶとく貢献するであろうが）、チップレットの手法を用いた先端パッケージ技術と言えるかもしれない。

　そして、2月9日にTSMCが発表した、つくば市に建設する予定の後工程の開発拠点において、日本の材料を用いて、画期的な3次元パッケージが生み出されることを期待せずにおれない。

　さらに、先端パッケージ技術が大きく進化しても、現在のデジタルなメモリやロジック半導体ではデータ処理が追い付かない場合は、図22に示したように、Neuromorphic Computing、Analog Computing、Quantum Computingなどに移行していくかもしれない。

図22：AI処理技術の進化のトレンド 出典：MOOR Insights and Strategy, AI Hardware: Harder Than It Looks（クリックで拡大）

　ひょっとしたら5年後の2025年頃の最新スマートフォンには、脳型コンピュータとして開発が進んでいるNeuromorphicチップが搭載されているかもしれない。そして、2030年頃には量子コンピュータが最新型のPCに搭載されている可能性も無いとは言えない。

　それを可能にし、見届けるためには、まずは人類がコロナに打ち勝つ必要がある。手洗い、うがい、マスクの着用を行いつつ、ワクチンの効果に期待したい。

⇒（次回に続く）

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筆者プロフィール

湯之上隆（ゆのがみ たかし）微細加工研究所 所長

1961年生まれ。静岡県出身。京都大学大学院（原子核工学専攻）を修了後、日立製作所入社。以降16年に渡り、中央研究所、半導体事業部、エルピーダメモリ（出向）、半導体先端テクノロジーズ（出向）にて半導体の微細加工技術開発に従事。2000年に京都大学より工学博士取得。現在、微細加工研究所の所長として、半導体・電機産業関係企業のコンサルタントおよびジャーナリストの仕事に従事。著書に『日本「半導体」敗戦』（光文社）、『「電機・半導体」大崩壊の教訓』（日本文芸社）、『日本型モノづくりの敗北　零戦・半導体・テレビ』（文春新書）。