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ルネサス那珂工場で生産再開、5月には火災前比で100%に火災原因の特定にはまだ至らず(2/2 ページ)

» 2021年04月19日 16時42分 公開
[村尾麻悠子EE Times Japan]
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Cuめっき装置の火災原因特定には「まだ時間が必要」

 Cuめっき装置は、7台所有していたが、今回の火災で焼損したのは3台。火災の根本原因の特定については「まだ時間を要する」(柴田氏)として詳細な言及を避けたが、残っている4台については「焼損した3台とは異なる電源配線構造を採用しているので、同様の原因による発火はないと考えている」と説明した。

 残っているCuめっき装置の発火対策として、CO2消火器と自動ダンパーを設置した。CO2放出は手動だ。5月には検知器(めっき装置1台当たり、煙検知器を2個、熱センサーを6個)を設置する。6月には、煙/熱センサーと連動してCO2消火剤を自動放出する対策を計画している。

Cuめっき装置の火災対策 出典:ルネサス(クリックで拡大)

 ウエハーを自動搬送するオーバーヘッドトランスポーターについても、焼損が激しかった火元の部分のレールは切断して撤去しなくてはならなかったため、その部分については手動でウエハーを搬送しているという。「生産を再開したとはいえ、クリーンルーム内では通常のオペレーションに戻すために、まだ多くの作業が残っている。本日(4月19日)午前中も装置を納入したばかりだ」(柴田氏)

右の写真は、火元付近のオーバーヘッドトランスポーター。レールが切断されているのが分かる 出典:ルネサス(クリックで拡大)

 今回の生産再開スケジュールのアップデートに伴う財務的な影響については「(前回会見で発表した財務計画と)それほど大きく変わらないと考えている」(柴田氏)とし、次回開催される決算報告会で詳細を公表するとした。

売り上げ影響見通し(2021年3月30日に行われた説明会の資料から抜粋) 出典:ルネサス(クリックで拡大)
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