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» 2021年06月01日 10時46分 公開

ルネサス那珂工場、火災前比88%まで生産能力が回復必要な製造装置の調達は完了

ルネサス エレクトロニクスは2021年6月1日、同年3月19日に火災が発生したルネサス セミコンダクタ マニュファクチャリングの那珂工場「N3棟」(300mmウエハーライン)の生産能力の復帰状況について、火災前と比較して88%の生産能力に復帰したと発表した。

[村尾麻悠子,EE Times Japan]

 ルネサス エレクトロニクスは2021年6月1日、同年3月19日に火災が発生したルネサス セミコンダクタ マニュファクチャリングの那珂工場「N3棟」(300mmウエハーライン)の生産能力の復帰状況について、火災前と比較して88%の生産能力に復帰したと発表した。

 火災で焼損した製造装置については、必要な装置全ての調達が完了。4月19日に行われた会見で「納期調整中」としていた、CMP装置の最後の1台については5月27日に納入されたという。同装置の立ち上げを6月中旬に完了し、その後、火災前比100%の生産能力回復を目指す計画だ。

2021年4月19日時点の製造装置調達計画。表中のNo. 23のCMP装置が、5月27日に納入されたという 出典:ルネサス エレクトロニクス(クリックで拡大)

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