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パワーエレクトロニクス最前線 特集

ルネサスが甲府工場を再開、300mm対応でパワー半導体の生産へ900億円規模の設備投資

ルネサス エレクトロニクス(以下、ルネサス)は2022年5月17日、2014年10月に閉鎖した甲府工場(山梨県甲斐市)を、300mmウエハー対応のパワー半導体生産ラインとして稼働を再開すると発表した。設備投資は900億円規模で、2024年の稼働再開を目指す。

» 2022年05月17日 15時45分 公開
[村尾麻悠子EE Times Japan]

 ルネサス エレクトロニクス(以下、ルネサス)は2022年5月17日、2014年10月に閉鎖した甲府工場(山梨県甲斐市)を、300mmウエハー対応のパワー半導体生産ラインとして稼働を再開すると発表した。設備投資は900億円規模で、2024年の稼働再開を目指す。本格的な量産が始まると、ルネサスのパワー半導体の生産能力は現在の2倍になる。

甲府工場の外観 出所:ルネサス エレクトロニクス

 甲府工場は、ルネサスの生産子会社であるルネサス セミコンダクタ マニュファクチュアリングの傘下として、150mmおよび200mmウエハー対応の生産ラインを備え、PC電源向け半導体などを生産していた。ルネサスは2013年8月に発表した構造改革計画で、鶴岡工場(山形県鶴岡市)や山口工場(山口県宇部市)などとともに甲府工場の閉鎖を公表した。

 今回、ルネサスは甲府工場に現存する建屋を活用し、パワー半導体専用の300mm生産ラインとして稼働を再開する。クリーンルームの面積は1万8000m2。IGBTおよびパワーMOSFETを生産する予定だ。

 設備投資は、経済産業省と連携し、2022年中に実施するという。

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