富士フイルム、熊本に半導体製造向け研磨剤生産設備を新設：同社として国内初

[永山準，EE Times Japan]

　富士フイルムは2022年9月8日、半導体製造プロセスの基幹材料である研磨剤「CMPスラリー」を生産する最新設備を熊本県菊陽町の工場に新設すると発表した。総投資金額は約20億円。

　具体的には、電子材料事業の中核会社である富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズが、ディスプレイ材料の主要生産拠点である富士フイルム九州（熊本県菊陽町）の工場内にCMPスラリーの生産設備や品質評価機器を導入する。同社として国内初のCMPスラリー生産設備で、着工時期は2023年4月、稼働は2024年1月の予定だ。「新たな設備／機器と、ディスプレイ材料で顧客の高い品質要求に応えてきた富士フイルム九州の人材／生産ノウハウなどを組み合わせて、高品質／高性能なCMPスラリーを生産する」としている。

　CMPスラリーは、硬さの異なる配線や絶縁膜が混在する半導体表面を均一に平たん化する研磨剤で、富士フイルムによると、その市場は年率10％で成長することが見込まれているという。

　同社は既に米国、台湾、韓国にCMPスラリーの生産拠点を有しており、「安定供給と品質に対する高い顧客要求に応え続けることで、同製品の市場伸長を大きく上回る売り上げ成長を達成している」と説明。今回、CMPスラリーの国内生産化と生産能力増強に向けて、4拠点目となる熊本での設備投資を行うことを決定した。

　同社は、「今後、世界4拠点の生産体制の下、CMPスラリーの安定／迅速供給を実現することで、さらなるビジネス拡大を図っていく」としている。