EUV光源で平均出力60W、24時間連続稼働を達成：量産対応EUVスキャナー実現に大きく前進

ギガフォトンは、開発中の極端紫外線（EUV）スキャナー用レーザー生成プラズマ（LPP）光源のプロトタイプ機を用い、量産工場での運転パターンを模擬して動作させたところ、平均出力60Wで24時間連続稼働に成功した。

[馬本隆綱，EE Times Japan]

工場での運転パターンで模擬動作

　ギガフォトンは2015年10月、開発中の極端紫外線（EUV：Extreme Ultra Violet）スキャナー用レーザー生成プラズマ（LPP：Laser Produced Plasma）光源のプロトタイプ機を用い、量産工場での運転パターンを模擬して動作させたところ、平均出力60Wで24時間連続稼働に成功したことを発表した。

LPP光源概略図 （クリックで拡大） 出典：NEDO、ギガフォトン

　ギガフォトンは、新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO）プロジェクトで、EUVスキャナー用LPP光源の開発に取り組んでいる。これまで、「20μm以下の微小ドロップレットの供給技術」、「短波長の固体レーザーによるプリパルスとCO₂レーザーによるメインパルスの組み合わせ」、「磁場を使ったデブリ除去技術」などの開発を行ってきた。

2015年中に高出力の検証機を稼働へ

　今回は、これまでの開発成果をもう一段進化させたうえで、実用レベルの運転パターンで動作させたところ、平均出力60Wで連続24時間稼働を達成することができた。これは現在半導体工場で稼働中のEUVスキャナーと比べて、約20％のスループット向上が期待できる数値だという。

LPP光源外観図 （クリックで拡大） 出典：NEDO、ギガフォトン

　ギガフォトンは、今回の成果を踏まえ2015年中に高出力の検証機を稼働させる。さらに今後は、メモリなど最先端ICの量産ラインに向けて、出力250Wレベルで連続稼働を可能とするLPP光源の開発を目指していく。