UV波長域対応の2/3型有効813万画素イメージセンサー：ソニーが産業機器向けに商品化

[永山準，EE Times Japan]

　ソニーセミコンダクターソリューションズは2021年9月29日、UV（紫外線）波長域に対応したグローバルシャッター搭載の2/3型有効約813万画素CMOSイメージセンサー「IMX487」を商品化したと発表した。既存市場である半導体パターン欠陥検査のほか、屋外におけるインフラ点検やプラチックリサイクル現場での素材選別など、幅広い産業用途での展開を目指す。

UV波長域対応CMOSイメージセンサー「IMX487」 出所：ソニーセミコンダクタソリューションズ

　IMX487は、イメージセンサー上部のガラスや画素のオンチップレンズにUV光透過率の高い材料を使用したほか、フォトダイオード周辺構造をUVに特化した独自構造とすることで、高感度かつ低ノイズの撮像を可能にした。また、画素がUV光を高効率に取り込むことから、高いUV感度に加え、2.74μmという微細画素の採用が可能となり、2/3型の小型センサーサイズでありながら、「業界最多」（同社）という有効画素約813万画素を実現している。

　独自の裏面照射型画素構造のグローバルシャッター機能を搭載した積層型CMOSイメージセンサー技術「Pregius S」によって、動体ひずみの無い高い撮像性能を備える。さらに、配線レイアウトの自由度が高いその構造から、193フレーム/秒（10ビットモード時）の高速性も実現している。

　IMX487は、UV波長域の中でも産業用の検査などに適した200〜400nmの波長に対応。小型／高画質性能および高い撮像性能と高速性という特長から、既存市場である生産ラインでの検査用途のほか、屋外におけるインフラ点検、プラスチックリサイクル現場でのUV光による素材選別や透明樹脂の塗布状態検査、部品表面の微細傷の検査、劣化した電線架線で発生する放電時のUV光検知など、幅広い用途での活用を目指している。

アクリル（PMMA）とポリスチレン（PS）のUV光による選別の例。左が可視光環境で、右がUV光環境であり、UV光環境でははっきりと違いが分かる 出所：ソニーセミコンダクタソリューションズ

透明樹脂の塗布状態検査の例（左が可視光環境で右がUV光環境）。基板上に塗布された透明な保護樹脂（実線内）は、可視光では見えないが、UV光では黒く映る。未塗布部分（点線内）は、UV光でも黒く映らない 出所：ソニーセミコンダクタソリューションズ