昭和電工、6インチSiCウエハーの量産を開始：SiCエピウエハーの安定供給へ

昭和電工は、SiC（炭化ケイ素）パワー半導体に向けた6インチ（150mm）SiC単結晶基板（SiCウエハー）の量産を始めた。引き続きパートナー各社よりSiCウエハーの調達も行いながら、安定供給に向けて自社生産にも乗り出す。

[馬本隆綱，EE Times Japan]

パートナー各社からも引き続きSiCウエハーを調達

　昭和電工は2022年3月、SiC（炭化ケイ素）パワー半導体に向けた6インチ（150mm）SiC単結晶基板（SiCウエハー）の量産を始めた。引き続きパートナー各社よりSiCウエハーの調達も行いながら、安定供給に向けて自社生産にも乗り出す。

6インチSiCウエハーの外観 出所：昭和電工

　SiCパワー半導体は、高温特性や高耐圧特性、大電流特性などに優れており、電動車や鉄道、産業機器などの用途で需要が拡大している。昭和電工は、世界最大のSiCエピタキシャルウエハー（SiCエピウエハー）外販メーカーであり、国内外のデバイスメーカーに供給している。

　こうした中で同社は、品質の向上や安定供給体制の確立に向けて、SiCエピウエハーの材料となるSiCウエハーについても自社生産を検討してきた。次世代パワーエレクトロニクス研究開発機構のメンバーとして、経済産業省と新エネルギー・産業技術総合開発機構の委託事業である「低炭素社会を実現する新材料パワー半導体プロジェクト」（2010〜2015年）に参画。2018年には新日鐵住金グループ（現日本製鉄グループ）よりSiCウエハーの関連資産を譲り受け、量産技術の開発などを行ってきたという。

　既に、複数の顧客が昭和電工製6インチSiCエピウエハーの採用を始めたこともあり、6インチSiCウエハーの量産を始めた。パートナー各社からも引き続きSiCウエハーを調達することで、材料調達先の多様化と、SiCエピウエハーの安定供給体制を構築していく方針である。