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昭和電工、6インチSiCウエハーの量産を開始SiCエピウエハーの安定供給へ

昭和電工は、SiC(炭化ケイ素)パワー半導体に向けた6インチ(150mm)SiC単結晶基板(SiCウエハー)の量産を始めた。引き続きパートナー各社よりSiCウエハーの調達も行いながら、安定供給に向けて自社生産にも乗り出す。

» 2022年03月30日 10時30分 公開
[馬本隆綱EE Times Japan]

パートナー各社からも引き続きSiCウエハーを調達

 昭和電工は2022年3月、SiC(炭化ケイ素)パワー半導体に向けた6インチ(150mm)SiC単結晶基板(SiCウエハー)の量産を始めた。引き続きパートナー各社よりSiCウエハーの調達も行いながら、安定供給に向けて自社生産にも乗り出す。

6インチSiCウエハーの外観 出所:昭和電工

 SiCパワー半導体は、高温特性や高耐圧特性、大電流特性などに優れており、電動車や鉄道、産業機器などの用途で需要が拡大している。昭和電工は、世界最大のSiCエピタキシャルウエハー(SiCエピウエハー)外販メーカーであり、国内外のデバイスメーカーに供給している。

 こうした中で同社は、品質の向上や安定供給体制の確立に向けて、SiCエピウエハーの材料となるSiCウエハーについても自社生産を検討してきた。次世代パワーエレクトロニクス研究開発機構のメンバーとして、経済産業省と新エネルギー・産業技術総合開発機構の委託事業である「低炭素社会を実現する新材料パワー半導体プロジェクト」(2010〜2015年)に参画。2018年には新日鐵住金グループ(現日本製鉄グループ)よりSiCウエハーの関連資産を譲り受け、量産技術の開発などを行ってきたという。

 既に、複数の顧客が昭和電工製6インチSiCエピウエハーの採用を始めたこともあり、6インチSiCウエハーの量産を始めた。パートナー各社からも引き続きSiCウエハーを調達することで、材料調達先の多様化と、SiCエピウエハーの安定供給体制を構築していく方針である。

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