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新菱、半導体製造装置などのパーツ洗浄能力を拡大：福島に新工場、岩手は能力増強

三菱ケミカルグループの新菱は、半導体精密洗浄事業を強化する。福島工場（福島県郡山市）を新設し、岩手工場（岩手県一関市）では既存工場を増強し、半導体製造装置などに用いられるパーツの洗浄能力を拡大する。いずれも2026年10月の稼働を目指す。

» 2024年11月13日 13時30分公開

[馬本隆綱，EE Times Japan]

半導体精密洗浄事業を強化、2026年10月に稼働予定

　三菱ケミカルグループの新菱は2024年11月11日、半導体精密洗浄事業を強化すると発表した。福島工場（福島県郡山市）を新設、岩手工場（岩手県一関市）では既存工場を増強し、半導体製造装置などに用いられるパーツの洗浄能力を拡大する。いずれも2026年10月の稼働を目指す。

　同社は半導体精密洗浄事業として、半導体製造装置メーカーや半導体デバイスメーカーに対し、「パーツ洗浄サービス」を提供している。半導体製造工程で用いられるパーツに付着したパーティクルや金属不純物などを取り除くサービスである。状況に応じてパーツ表面を改質する作業も行う。

　これらのサービスにより、半導体製造工程での歩留まり向上に貢献していく。また、廃棄するパーツの削減や環境負荷の低減にもつながるという。使用済みパーツだけでなく新品のパーツも使用前に洗浄することで、半導体製造装置における初期の稼働不良を減らすことができるとみている。

パーツ洗浄のイメージと精密洗浄クリーンルームのイメージ［クリックで拡大］出所：三菱ケミカルグループ

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