ニコンが先進パッケージング向けデジタル露光装置「DSP-110」を開発した。解像度は1.5μm(L/S:ライン/スペース)で、スループットは毎時72パネルと、2025年7月に発表した「DSP-100」から約40%向上した。2027年4月の発売を予定している。
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