指先だけで操る車イス、どこでも見られるテレビ――ベンチャーエリアまとめ：CEATEC 2014（3/3 ページ）

[村尾麻悠子，EE Times Japan]

半導体露光装置のUVランプを置き換える、高出力のUV-LED

　ナイトライド・セミコンダクターは、高い出力を実現したUV-LED（表面実装タイプ）などを展示した。UV-LEDチップを4個搭載した「6SMG」シリーズは、波長365nmで標準出力が2700mW、同385nmで3750mW。UV-LEDチップを1個搭載した「6SVG」シリーズは、375nmで700mW、405nmで1000mWなどを実現している。

　現在、半導体の露光装置では光源としてUVランプが使用されているが、効率が低い上に寿命が短く、水銀を含むといった課題がある。水銀は2020年までに製造と輸出入が禁止されることになっているので、UV-LEDへの置き換えが進む見込みだ。そのため、光源として十分な高出力のUV-LEDへのニーズが高まっている。

　ナイトライド・セミコンダクターは、上下に電極を形成する約1mm角のUV-LEDチップを銅製の基板に高密度で実装し、高い出力を実現することに成功したという。

左＝表面実装タイプのUV-LEDを使ったカスタムの照射ユニット（赤枠内）。右＝高出力UV-LED「6SVG」シリーズのロードマップ。2017年までに出力を現在の1.5倍、1W当たりのコストを現在の1/4に低減することが目標だ（クリックで拡大）

CEATEC JAPAN 2014（CEATEC 2014）

＞＞↑↑↑特集ページはコチラから↑↑↑＜＜